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漏致势垒降低效应对短沟道应变硅金属氧化物半导体场效应管阈值电压的影响

王晓艳 张鹤鸣 王冠宇 宋建军 秦珊珊 屈江涛

漏致势垒降低效应对短沟道应变硅金属氧化物半导体场效应管阈值电压的影响

王晓艳, 张鹤鸣, 王冠宇, 宋建军, 秦珊珊, 屈江涛
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-03-28
  • 修回日期:  2010-05-16
  • 刊出日期:  2011-01-05

漏致势垒降低效应对短沟道应变硅金属氧化物半导体场效应管阈值电压的影响

  • 1. (1)西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件重点实验室,西安 710071; (2)西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件重点实验室,西安 710071;宝鸡文理学院电子电气工程系,宝鸡 721007

摘要: 结合应变硅金属氧化物半导体场效应管(MOSFET)结构,通过求解二维泊松方程,得到了应变Si沟道的电势分布,并据此建立了短沟道应变硅NMOSFET的阈值电压模型.依据计算结果,详细分析了弛豫Si1-βGeβ中锗组分β、沟道长度、漏电压、衬底掺杂浓度以及沟道掺杂浓度对阈值电压的影响,从而得到漏致势垒降低效应对小尺寸应变硅器件阈值电压的影响,对应变硅器件以及电路的设计具有重要的参考价值.

English Abstract

参考文献 (19)

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