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砷化镓中质子注入之研究

王渭源 徐景阳 倪企民 谭儒环 刘月琴 邱月英

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砷化镓中质子注入之研究

王渭源, 徐景阳, 倪企民, 谭儒环, 刘月琴, 邱月英

A STUDY OF PROTON IMPLANTATION FOR GaAs

WANG WEI-YUAN, XU JING-YANG, NI QI-MIN, TAN RU-HUAN, LIU YUE-QIN, QIU YUE-YING
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出版历程
  • 收稿日期:  1978-07-18
  • 刊出日期:  2005-07-30

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