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离子注入硅的椭圆偏振光谱和光性

莫党 叶贤京

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离子注入硅的椭圆偏振光谱和光性

莫党, 叶贤京

ELLIPSOMETRIC SPECTRUM AND OPTICAL PROPERTIES OF ION IMPLANTED SILICON

MO DANG, YE XIAN-JING
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出版历程
  • 收稿日期:  1981-02-26
  • 刊出日期:  1981-05-05

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