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硅离子注入层的电场调制反射光谱

钱佑华 陈良尧

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硅离子注入层的电场调制反射光谱

钱佑华, 陈良尧

ELECTROLYTE ELECTROREFLECTANCE (EER) SPECTROSCOPY OF ION IMPLANTED SILICON LAYER

QIAN YOU-HUA, CHEN LIANG-YAO
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出版历程
  • 收稿日期:  1981-08-11
  • 刊出日期:  2005-07-27

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