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氢离子注入对硅单晶电子辐照缺陷和氢泡形成的影响

高愈尊 大贯惣明 高桥平七郎 佐藤義一 竹山太郎

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氢离子注入对硅单晶电子辐照缺陷和氢泡形成的影响

高愈尊, 大贯惣明, 高桥平七郎, 佐藤義一, 竹山太郎

THE EFFECT OF HYDROGEN IMPLANTATION ON ELECTRON IRRADIATED DEFECTS AND BLISTER FORMATION IN SILICON SINGLE CRYSTAL

GAO YU-ZUN, S. OHNUKI, H. TAKAHASHI, Y. SATO, T. TAKEYAMA
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出版历程
  • 收稿日期:  1987-02-02
  • 刊出日期:  2005-07-04

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