搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

C+离子注入Si单晶形成SiC埋层中Si2p的特征能量损失谱

严 辉 陈光华 黄世平 郭伟民

引用本文:
Citation:

C+离子注入Si单晶形成SiC埋层中Si2p的特征能量损失谱

严 辉, 陈光华, 黄世平, 郭伟民

CHARACTERISTIC ELECTRON ENERGY LOSS SPECTRA IN SiC BURIED LAYERS FORMED BY C+ IMPLANTATION INTO CRYSTALLINE SILICON

YAN HUI, CHEN GUANG-HUA, S.P.WONG, R.W.M.KWOK
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  7442
  • PDF下载量:  599
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  1997-10-22
  • 刊出日期:  1998-05-20

/

返回文章
返回