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氢气区熔硅单晶氢致缺陷的研究

麦振洪 崔树范 林健 吕岩

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氢气区熔硅单晶氢致缺陷的研究

麦振洪, 崔树范, 林健, 吕岩

STUDY OF HYDROGEN-INDUCED DEFECTS IN FLOATING ZONE SILICON GROWN IN HYDROGEN ATMOSPHERE

MAI ZHEN-HONG, CUI SHU-FAN, LIN JIAN, Lü YAN
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出版历程
  • 收稿日期:  1983-07-30
  • 刊出日期:  2005-03-25

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