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微波等离子体化学汽相沉积法沉积CNx膜的研究

辛 煜 范叔平 狄国庆 沈明荣 甘肇强

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微波等离子体化学汽相沉积法沉积CNx膜的研究

辛 煜, 范叔平, 狄国庆, 沈明荣, 甘肇强

STUDIES OF CNx FILMS DEPOSITED BY MEANS OF MICROWAVE PLASMA CVD METHOD

XIN YU, FAN SHU-PING, DI GUO-QING, SHEN MING-RONG, GAN ZHAO-QIANG
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出版历程
  • 收稿日期:  1997-03-31
  • 刊出日期:  1998-01-20

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