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热丝化学气相沉积技术低温制备多晶硅薄膜的结构与光电特性

汪六九 朱美芳 刘丰珍 刘金龙 韩一琴

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热丝化学气相沉积技术低温制备多晶硅薄膜的结构与光电特性

汪六九, 朱美芳, 刘丰珍, 刘金龙, 韩一琴

Structual and optoelectronic properties of polycrystalline silicon thin films p repared by hot-wire chemical vapor deposition at low temperatures

Wang Liu-Jiu, Zhu Mei-Fang, Liu Feng-Zhen, Liu Jin-Long, Han Yi-Qin
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-01-21
  • 修回日期:  2003-03-28
  • 刊出日期:  2003-11-20

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