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用镍硅氧化物源横向诱导晶化的多晶硅薄膜

刘召军 孟志国 赵淑云 郭海成 吴春亚 熊绍珍

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用镍硅氧化物源横向诱导晶化的多晶硅薄膜

刘召军, 孟志国, 赵淑云, 郭海成, 吴春亚, 熊绍珍

Crystallized poly-silicon thin film laterally induced by the Ni/Si oxide source

Liu Zhao-Jun, Meng Zhi-Guo, Zhao Sun-Yun, Kwok Hoi Sing, Wu Chun-Ya, Xiong Shao-Zhen
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-01-09
  • 修回日期:  2009-07-30
  • 刊出日期:  2010-02-05

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