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金属诱导生长与超高真空化学气相沉积方法相结合制备多晶锗硅薄膜

吴贵斌 叶志镇 赵 星 刘国军 赵炳辉

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金属诱导生长与超高真空化学气相沉积方法相结合制备多晶锗硅薄膜

吴贵斌, 叶志镇, 赵 星, 刘国军, 赵炳辉

Poly-SiGe films prepared by metal-induced growth using UHVCVD system

Wu Gui-Bin, Ye Zhi-Zhen, Zhao Xing, Liu Guo-Jun, Zhao Bin-Hui
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-08-31
  • 修回日期:  2006-01-15
  • 刊出日期:  2006-07-20

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