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硅基锗薄膜选区外延生长研究

汪建元 王尘 李成 陈松岩

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硅基锗薄膜选区外延生长研究

汪建元, 王尘, 李成, 陈松岩

Selective area growth of Ge film on Si

Wang Jian-Yuan, Wang Chen, Li Cheng, Chen Song-Yan
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-01-16
  • 修回日期:  2015-03-10
  • 刊出日期:  2015-06-05

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