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原位等离子体逐层氧化a-Si:H/SiO2多层膜的光致发光研究

马忠元 黄信凡 朱 达 李 伟 陈坤基 冯 端

引用本文:
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原位等离子体逐层氧化a-Si:H/SiO2多层膜的光致发光研究

马忠元, 黄信凡, 朱 达, 李 伟, 陈坤基, 冯 端

Photoluminescence from a-Si:H/SiO2 multilayers fabricated using in situ layer by layer plasma oxidation

Ma Zhong-Yuan, Huang Xin-Fan, Zhu Da, Li Wei, Chen Kun-Ji, Feng Duan
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-11-05
  • 修回日期:  2003-12-30
  • 刊出日期:  2004-04-05

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