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射频溅射制备的BST薄膜介电击穿研究

卢 肖 吴传贵 张万里 李言荣

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射频溅射制备的BST薄膜介电击穿研究

卢 肖, 吴传贵, 张万里, 李言荣

Dielectric breakdown of BST thin films prepared by RF sputtering

Lu Xiao, Wu Chuan-Gui, Zhang Wan-Li, Li Yan-Rong
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-09-07
  • 修回日期:  2005-11-10
  • 刊出日期:  2006-05-20

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