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O2掺杂对SiCOH低k薄膜结构与电学性能的影响

卫永霞 钱晓梅 俞笑竹 叶 超 宁兆元 梁荣庆

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O2掺杂对SiCOH低k薄膜结构与电学性能的影响

卫永霞, 钱晓梅, 俞笑竹, 叶 超, 宁兆元, 梁荣庆

Effect of O2-doping on bonding configuration and electric properties of SiCOH films prepared by decamethylcyclopentasiloxane electron cyclotron resonance plasma

Wei Yong-Xia, Qian Xiao-Mei, Yu Xiao-Zhu, Ye Chao, Ning Zhao-Yuan, Liang Rong-Qing
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-06-19
  • 修回日期:  2006-07-09
  • 刊出日期:  2007-01-05

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