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溅射压强对TiN/SiNx纳米多层膜微观结构及力学性能的影响

安涛 王丽丽 文懋 郑伟涛

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溅射压强对TiN/SiNx纳米多层膜微观结构及力学性能的影响

安涛, 王丽丽, 文懋, 郑伟涛

Influence of sputtering pressure on microstructure and mechanical properties of TiN/SiNx multilayer coatings

An Tao, Wang Li-Li, Wen Mao, Zheng Wei-Tao
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-01-20
  • 修回日期:  2010-05-12
  • 刊出日期:  2011-01-15

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