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非晶硅薄膜晶化过程中微结构的分析

何宇亮 周衡南 刘湘娜 程光煦 余是东

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非晶硅薄膜晶化过程中微结构的分析

何宇亮, 周衡南, 刘湘娜, 程光煦, 余是东

STUDIES AND ANALYSIS FOR MICROSTRUCTURES OF MICRO-CRYSTALLIZATION PROCESS OF AMORPHOUS SILICON FILMS

HE YU-LIANG, ZHOU HENG-NAN, LIU XIANG-NA, CHENG GUANG-XU, YU SHI-DONG
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出版历程
  • 收稿日期:  1989-11-29
  • 刊出日期:  2005-03-20

非晶硅薄膜晶化过程中微结构的分析

  • 1. (1)南京大学固体微结构物理实验室,南京,210008; (2)南京大学物理系,南京,210008
    基金项目: 国家自然科学基金资助的课题

摘要: 使用X射线衍射技术和高分辨率电子显微镜(HREM),分析研究了在非晶硅薄膜由非晶相向微晶相转化过程中其网络结构的变化特征,由此,给人们一个直观的信息,并加深对非晶硅薄膜微结构的认识。

English Abstract

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