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非晶硅薄膜的低温快速晶化及其结构分析

林揆训 林璇英 梁厚蕴 池凌飞 余楚迎 黄创君

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非晶硅薄膜的低温快速晶化及其结构分析

林揆训, 林璇英, 梁厚蕴, 池凌飞, 余楚迎, 黄创君

Lin Kui-Xun, Lin Xuan-Ying, Liang Hou-Yun, Chi Ling-Fei, Yu Chu-Ying, Huang Chuang-Jun
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-04-07
  • 修回日期:  2001-09-29
  • 刊出日期:  2002-02-05

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