搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

氧化钒薄膜微观结构的研究

潘梦霄 曹兴忠 李养贤 王宝义 薛德胜 马创新 周春兰 魏 龙

引用本文:
Citation:

氧化钒薄膜微观结构的研究

潘梦霄, 曹兴忠, 李养贤, 王宝义, 薛德胜, 马创新, 周春兰, 魏 龙

Microstructural features of DC sputtered vanadium oxide thin films

Pan Meng-Xiao, Cao Xing-Zhong, Li Yang-Xian, Wang Bao-Yi, Xue De-Sheng, Ma Chuang-Xin, Zhou Chun-Lan, Wei Long
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  5980
  • PDF下载量:  1261
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2003-07-28
  • 修回日期:  2003-10-24
  • 刊出日期:  2004-03-05

氧化钒薄膜微观结构的研究

  • 1. 中国科学院高能物理研究所核分析技术重点实验室;北京 100039;河北工业大学材料科学与工程学院;天津 300130
    基金项目: 国家自然科学基金(批准号:19927001)资助的课题.

摘要: 采用直流磁控反应溅射在Si(100)衬底上溅射得到(001)取向的V2O5薄膜.x射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)和傅里叶变换红外光谱(FTIR)的结果表明,氧分压影响薄膜的成分和生长取向,在氧分压0.4Pa时溅射得到(001)取向的纳米V2O5薄膜,即沿c轴垂直衬底方向取向生长的薄膜.V2O5薄膜经过真空退火得到(001)取向的VO2薄膜,晶体颗

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回