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关于热生长SiO2薄膜厚度的测量

沈世纲 黄敞 于凤树

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关于热生长SiO2薄膜厚度的测量

沈世纲, 黄敞, 于凤树

MEASUREMENT OF THE THICKNESS OF THERMALLY GROWN SiO2 THIN FILMS

SHIN SHIH-KONG, HUANG CHAANG, YU FUNG-SHU
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出版历程
  • 收稿日期:  1963-02-19
  • 刊出日期:  2005-08-05

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