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高能重离子注入Si中缺陷的抑制
卢武星 , R.J.Schreatelkamp , J.R.Liefting , F.W.Saris
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(1)FOM原子和分子物理研究所,1098SJAmsterdam; (2)北京师范大学低能核物理研究所射线束与材料工程开放实验室,北京100875;
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