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基于透射谱的GaN薄膜厚度测量

张进城 郝跃 李培咸 范隆 冯倩

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基于透射谱的GaN薄膜厚度测量

张进城, 郝跃, 李培咸, 范隆, 冯倩

Thickness measurement of GaN film based on transmission spectra

Zhang Jin-Cheng, Hao Yue, Li Pei-Xian, Fan Long, Feng Qian
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-06-06
  • 修回日期:  2003-07-31
  • 刊出日期:  2004-02-05

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