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Ti-Si-N复合膜的界面相研究

孔 明 胡晓萍 董云杉 李戈扬 顾明元

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Ti-Si-N复合膜的界面相研究

孔 明, 胡晓萍, 董云杉, 李戈扬, 顾明元

A study on interfacial phase of Ti-Si-N composite films

Kong Ming, Hu Xiao-Ping, Dong Yun-Shan, Li Ge-Yang, Gu Ming-Yuan
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-11-23
  • 修回日期:  2005-02-02
  • 刊出日期:  2005-04-05

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