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感应耦合等离子体刻蚀InP/InGaAsP二维光子晶体结构的研究

马小涛 郑婉华 任 刚 樊中朝 陈良惠

引用本文:
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感应耦合等离子体刻蚀InP/InGaAsP二维光子晶体结构的研究

马小涛, 郑婉华, 任 刚, 樊中朝, 陈良惠

Inductively coupled plasma etching of two-dimensional InP/InGaAsP-based photonic crystal

Ma Xiao-Tao, Zheng Wan-Hua, Ren Gang, Fan Zhong-Chao, Chen Liang-Hui
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-05-31
  • 修回日期:  2006-07-04
  • 刊出日期:  2007-01-05

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