GaP薄膜的射频磁控溅射沉积及其计算机模拟
物理学报
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物理学报  2007, Vol. 56 Issue (5): 2937-2944
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
GaP薄膜的射频磁控溅射沉积及其计算机模拟
李阳平, 刘正堂, 赵海龙, 刘文婷, 闫 锋
西北工业大学材料学院,西安 710072
RF magnetron sputtering of GaP thin film and computer simulation of its depositing process
Li Yang-Ping, Liu Zheng-Tang, Zhao Hai-Long, Liu Wen-Ting, Yan Feng
西北工业大学材料学院,西安 710072

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