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非对称Halo异质栅应变Si SOI MOSFET的二维解析模型

辛艳辉 刘红侠 范小娇 卓青青

非对称Halo异质栅应变Si SOI MOSFET的二维解析模型

辛艳辉, 刘红侠, 范小娇, 卓青青
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-03-01
  • 修回日期:  2013-04-02
  • 刊出日期:  2013-08-05

非对称Halo异质栅应变Si SOI MOSFET的二维解析模型

  • 1. 西安电子科技大学微电子学院, 宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室, 西安 710071
    基金项目: 

    国家自然科学基金 (批准号: 60936005, 61076097)和教育部博士点基金 (批准号: 20110203110012) 资助的课题.

摘要: 为了进一步提高深亚微米SOI (Silicon-On-Insulator) MOSFET (Metal-Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) 的电流驱动能力, 抑制短沟道效应和漏致势垒降低效应, 提出了非对称Halo异质栅应变Si SOI MOSFET. 在沟道源端一侧引入高掺杂Halo结构, 栅极由不同功函数的两种材料组成. 考虑新器件结构特点和应变的影响, 修正了平带电压和内建电势. 为新结构器件建立了全耗尽条件下的表面势和阈值电压二维解析模型. 模型详细分析了应变对表面势、表面场强、阈值电压的影响, 考虑了金属栅长度及功函数差变化的影响. 研究结果表明,提出的新器件结构能进一步提高电流驱动能力, 抑制短沟道效应和抑制漏致势垒降低效应, 为新器件物理参数设计提供了重要参考.

English Abstract

参考文献 (14)

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