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脉冲直流偏压增强的高质量立方氮化硼薄膜的合成

田晶泽 吕反修 夏立芳

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脉冲直流偏压增强的高质量立方氮化硼薄膜的合成

田晶泽, 吕反修, 夏立芳

DEPOSITION OF HIGH-QUALITY c-BN FILM ENHANCED BY PULSED DC BIAS TECHNIQUE

TIAN JING-ZE, Lü FAN-XIU, XIA LI-FANG
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-01-11
  • 修回日期:  2001-04-23
  • 刊出日期:  2001-11-20

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