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纳米晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析

陈城钊 李平 林璇英 刘翠青 邱胜桦 吴燕丹 余楚迎

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纳米晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析

陈城钊, 李平, 林璇英, 刘翠青, 邱胜桦, 吴燕丹, 余楚迎

Infrared analysis on hydrogen content and Si—H bonding configuration of hydrogenated nanocrystalline silicon thin films

Chen Cheng-Zhao, Li Ping, Lin Xuan-Ying, Liu Cui-Qing, Qiu Sheng-Hua, Wu Yan-Dan, Yu Chu-Ying
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-06-16
  • 修回日期:  2008-09-24
  • 刊出日期:  2009-02-05

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