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不同参数溅射的ZnO薄膜硫化后的特性

张仁刚 王宝义 张 辉 马创新 魏 龙

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不同参数溅射的ZnO薄膜硫化后的特性

张仁刚, 王宝义, 张 辉, 马创新, 魏 龙

The properties of the as-sputtered ZnO films under different deposition parameters after sulfidation

Zhang Ren-Gang, Wang Bao-Yi, Zhang Hui, Ma Chuang-Xin, Wei Long
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-09-22
  • 修回日期:  2004-10-18
  • 刊出日期:  2005-05-10

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