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InSb中离子注入二次缺陷研究

田人和 卢武星 李竹怀 高愈尊

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InSb中离子注入二次缺陷研究

田人和, 卢武星, 李竹怀, 高愈尊

A STUDY OF SECONDARY DEFECTS IN ION- IMPLANTED InSb

TIAN REN-HE, LU WU-XING, LI ZHU-HUAI, GAO YU-ZUN
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出版历程
  • 收稿日期:  1991-05-17
  • 刊出日期:  2005-07-03

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