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空心圆管端点附近等离子体源离子注入过程中鞘层的时空演化

刘成森 王德真

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空心圆管端点附近等离子体源离子注入过程中鞘层的时空演化

刘成森, 王德真

Plasma source ion implantation near the end of a cylindrical bore using an auxiliary electrode for finite rise time voltage pulses

Liu Cheng Sen, Wang De Zhen
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-03-22
  • 修回日期:  2002-04-27
  • 刊出日期:  2005-04-03

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