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沉积温度对含氢非晶碳膜电学性质的影响

程珊华 宁兆元 康 健 马春兰 叶 超

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沉积温度对含氢非晶碳膜电学性质的影响

程珊华, 宁兆元, 康 健, 马春兰, 叶 超

EFFECTS OF DEPOSITION TEMPERATURE ON ELECTRICAL PROPERTIES OF HYDROGENATED AMORP HOUS CARBON FILMS

CHENG SHAN-HUA, NING ZHAO-YUAN, KAN JIAN, MA CHUN-LAN, YE CHAO
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-02-24
  • 修回日期:  2000-03-30
  • 刊出日期:  2000-05-05

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