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铝互连线的电迁移问题及超深亚微米技术下的挑战

张文杰 易万兵 吴 瑾

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铝互连线的电迁移问题及超深亚微米技术下的挑战

张文杰, 易万兵, 吴 瑾

Electromigration in Al interconnects and the challenges in ultra-deep submicron technology

Zhang Wen-Jie, Yi Wan-Bing, Wu Jin
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-02-06
  • 修回日期:  2006-03-22
  • 刊出日期:  2006-05-05

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