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TiO2和SiO2薄膜应力的产生机理及实验探索

顾培夫 郑臻荣 赵永江 刘 旭

引用本文:
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TiO2和SiO2薄膜应力的产生机理及实验探索

顾培夫, 郑臻荣, 赵永江, 刘 旭

Study on the mechanism and measurement of stress of TiO2 and SiO2 thin-films

Gu Pei-Fu, Zheng Zhen-Rong, Zhao Yong-Jiang, Liu Xu
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-03-16
  • 修回日期:  2006-07-03
  • 刊出日期:  2006-06-05

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