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基于硅基微电子机械系统仿生振膜的光纤麦克风

刘欣 蔡宸 董志飞 邓欣 胡昕宇 祁志美

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基于硅基微电子机械系统仿生振膜的光纤麦克风

刘欣, 蔡宸, 董志飞, 邓欣, 胡昕宇, 祁志美

Fiber-optic microphone based on bionic silicon micro-electro-mechanical system diaphragm

Liu Xin, Cai Chen, Dong Zhi-Fei, Deng Xin, Hu Xin-Yu, Qi Zhi-Mei
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出版历程
  • 收稿日期:  2021-12-02
  • 修回日期:  2022-01-14
  • 上网日期:  2022-01-26
  • 刊出日期:  2022-05-05

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