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衬底温度对热壁外延ZnSe薄膜质量的影响

吕宏强 王杰 沈军 刘咏 王迅 王昌平 王建宝 李晨 沈孝良

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衬底温度对热壁外延ZnSe薄膜质量的影响

吕宏强, 王杰, 沈军, 刘咏, 王迅, 王昌平, 王建宝, 李晨, 沈孝良

EFFECT OF SUBSTRATE TEMPERATURE ON ZnSe FILMS GROWN BY HOT WALL EPITAXY

Lü HONG-QIANG, WANG JIE, SHEN JUN, LIU YONG, WANG XUN, WANG CHANG-PING, WANG JIAN-BAO, LI CHEN, SHEN XIAO-LIANG
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出版历程
  • 收稿日期:  1991-07-08
  • 刊出日期:  1992-04-05

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