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衬底温度对MOCVD法沉积ZnO透明导电薄膜的影响

陈新亮 薛俊明 张德坤 孙 建 任慧志 赵 颖 耿新华

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衬底温度对MOCVD法沉积ZnO透明导电薄膜的影响

陈新亮, 薛俊明, 张德坤, 孙 建, 任慧志, 赵 颖, 耿新华

Effect of substrate temperature on the ZnO thin films as TCO in solar cells grown by MOCVD technique

Chen Xin-Liang, Xue Jun-Ming, Zhang De-Kun, Sun Jian, Ren Hui-Zhi, Zhao Ying, Geng Xin-Hua
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-12-09
  • 修回日期:  2006-08-21
  • 刊出日期:  2007-07-11

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