搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

铝互连线的电迁移问题及超深亚微米技术下的挑战

张文杰 易万兵 吴 瑾

引用本文:
Citation:

铝互连线的电迁移问题及超深亚微米技术下的挑战

张文杰, 易万兵, 吴 瑾

Electromigration in Al interconnects and the challenges in ultra-deep submicron technology

Zhang Wen-Jie, Yi Wan-Bing, Wu Jin
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  8715
  • PDF下载量:  3367
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2006-02-06
  • 修回日期:  2006-03-22
  • 刊出日期:  2006-05-05

/

返回文章
返回