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AlGaN/GaN异质结Ni/Au肖特基表面处理及退火研究

王 冲 冯 倩 郝 跃 万 辉

引用本文:
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AlGaN/GaN异质结Ni/Au肖特基表面处理及退火研究

王 冲, 冯 倩, 郝 跃, 万 辉

Effect of pre-metallization processing and annealing on Ni/Au Schottky contacts in AlGaN/GaN heterostructures

Wang Chong, Feng Qian, Hao Yue, Wan Hui
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-02-17
  • 修回日期:  2006-02-28
  • 刊出日期:  2006-11-20

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