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工艺导致的机械应力对深亚微米CMOS器件的影响

李 睿 王庆东

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工艺导致的机械应力对深亚微米CMOS器件的影响

李 睿, 王庆东

Process-induced mechanical stress effects on deep submicron CMOS device

Li Rui, Wang Qing-Dong
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-08-17
  • 修回日期:  2007-08-30
  • 刊出日期:  2008-07-20

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