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金属管件内壁栅极增强等离子体源离子注入的轴向特性研究

张谷令 王久丽 陈光良 冯文然 顾伟超 牛二武 范松华 刘赤子 杨思泽

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金属管件内壁栅极增强等离子体源离子注入的轴向特性研究

张谷令, 王久丽, 陈光良, 冯文然, 顾伟超, 牛二武, 范松华, 刘赤子, 杨思泽

Axial property of the inner surface of a metal tube processed by GEPSII

Zhang Gu-Ling, Wang Jiu-Li, Chen Guang-Liang, Feng Wen-Ran, Gu Wei-Chao, Niu Er-Wu, Fan Song-Hua, Liu Chi-Zi, Yang Si-Ze
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-07-14
  • 修回日期:  2006-08-18
  • 刊出日期:  2007-07-11

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