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多弧离子镀工艺对TiN/Ti与Cr/Cu界面及微结构的影响

林秀华 刘 新

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多弧离子镀工艺对TiN/Ti与Cr/Cu界面及微结构的影响

林秀华, 刘 新

INFLUENCE OF MULTI-ARC ION PLATING TECHNIQUE ON THE INTERFACE AND MICROSTRUCTURE OF TiN/Ti AND Cr/Cu CONTACT SYSTEM

LIN XIU-HUA, LIU XIN
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-05-11
  • 刊出日期:  2000-11-20

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