搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

热原子层沉积氧化铝对硅的钝化性能及热稳定性

何悦 窦亚楠 马晓光 陈绍斌 褚君浩

引用本文:
Citation:

热原子层沉积氧化铝对硅的钝化性能及热稳定性

何悦, 窦亚楠, 马晓光, 陈绍斌, 褚君浩

Passivation and stability of thermal atomic layer deposited Al2O3 on CZ-Si

He Yue, Dou Ya-Nan, Ma Xiao-Guang, Chen Shao-Bin, Chu Jun-Hao
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  8945
  • PDF下载量:  2414
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2012-02-16
  • 修回日期:  2012-06-27
  • 刊出日期:  2012-12-05

/

返回文章
返回