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基片曲率法在多孔硅薄膜残余应力检测中的应用

邸玉贤 计欣华 胡 明 秦玉文 陈金龙

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基片曲率法在多孔硅薄膜残余应力检测中的应用

邸玉贤, 计欣华, 胡 明, 秦玉文, 陈金龙

Residual stress measurement of porous silicon thin film by substrate curvature method

Di Yu-Xian, Ji Xin-Hua, Hu Ming, Qin Yu-Wen, Chen Jin-Long
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-11-23
  • 修回日期:  2005-12-15
  • 刊出日期:  2006-05-05

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