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热原子层沉积氧化铝对硅的钝化性能及热稳定性

何悦 窦亚楠 马晓光 陈绍斌 褚君浩

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热原子层沉积氧化铝对硅的钝化性能及热稳定性

何悦, 窦亚楠, 马晓光, 陈绍斌, 褚君浩

Passivation and stability of thermal atomic layer deposited Al2O3 on CZ-Si

He Yue, Dou Ya-Nan, Ma Xiao-Guang, Chen Shao-Bin, Chu Jun-Hao
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-02-16
  • 修回日期:  2012-06-27
  • 刊出日期:  2012-12-05

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