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低温氮化硅薄膜的介电性能研究

叶超 宁兆元 马云秀 沈明荣 汪浩 甘肇强

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低温氮化硅薄膜的介电性能研究

叶超, 宁兆元, 马云秀, 沈明荣, 汪浩, 甘肇强

DIELECTRIC PROPERTIES OF SiNx FILMS DEPOSITED AT LOW TEMPERATURE

YE CHAO, NING ZHAO-YUAN, MA YUN-XIU, SHEN MING-RONG, WANG HAO, GAN ZHAO-QIANG
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出版历程
  • 收稿日期:  1996-09-16
  • 修回日期:  1996-12-27
  • 刊出日期:  1997-03-05

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