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PECVD硼掺杂微晶硅薄膜的压阻特性

郭述文 谭淞生 王渭源

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PECVD硼掺杂微晶硅薄膜的压阻特性

郭述文, 谭淞生, 王渭源

PIEZORESISTIVE PROPERTIES OF BORON-DOPED PECVD μc-Si FILMS

GUO SHU-WEN, TAN SONG-SHENG, WANG WEI-YUAN
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出版历程
  • 收稿日期:  1988-01-12
  • 刊出日期:  2005-07-06

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